百家乐ag厅投注限额 朔方华创苦求多晶硅回刻蚀专利, 保证膜层厚度均值和边界幽静
发布日期：2025-02-02 03:36 点击次数：117
金融界2025年3月22日音问，国度常识产权局信息暴露，北京朔方华创微电子装备有限公司苦求一项名为“多晶硅的回刻蚀模范及半导体工艺开辟”的专利，公开号CN119650425A，苦求日历为2024年12月。
专利概要暴露，本苦求公开了一种多晶硅的回刻蚀模范及半导体工艺开辟。其中，该模范包括：在腔室内通入搀杂气体，以使刻蚀量对温度的明锐悉数位于设定边界内；赢得静电卡盘各子区域的意见刻蚀量和刻蚀量对温度的明锐悉数；字据子区域的意见刻蚀量和与搀杂气体对应的刻蚀量对温度的明锐悉数，春联区域进行温度竣事；开启上射频电源功率进行等离子体启辉，以对放弃在静电卡盘上的晶圆名义的多晶硅进行回刻蚀。本苦求保证了膜层厚度的均值和边界幽静，裁减了刻蚀后条形症结的颗数，AG真人百家乐线路提升了晶圆的良率。
天眼查贵府暴露，北京朔方华创微电子装备有限公司，诞生于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册成本114153.708311万东谈主民币，实缴成本114153.708311万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，北京朔方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标名目1014次，财产痕迹方面有商标信息43条，专利信息5000条，此外企业还领有行政许可339个。
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