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3月25日音尘，据俄罗斯卫星通讯社报说念，莫斯科市长谢尔盖·索比亚宁近日在其 “电报” 频说念的账号上发文称，莫斯科“泽列诺格勒纳米技艺中心”公司已完成了俄罗斯首台350nm光刻机的研发责任，这是坐褥微芯片的关键建造。
在俄乌破裂爆发后，好意思西方对俄罗斯试验了更为严厉的出口照看要领，其中半导体芯片及光刻机等半导体建造成为了罢了的要点，这也迫使俄罗斯启动研发自主缱绻的国产光刻机。
2023年，俄罗斯联邦工业和贸易部副部长瓦西里·什帕克（Vasily Shpak）在接纳媒体采访时就曾暗意，2024年俄罗斯将启动坐褥350nm光刻机，2026年启动用于坐褥130nm制程芯片的光刻机。光刻机的坐褥将在莫斯科、泽列诺格勒、圣彼得堡和新西伯利亚的现存工场进行。
随后在2024年5月，俄罗斯塔斯社报说念称，在CIPR 2024会议时候，Vasily Shpak文牍，俄罗斯首台国产光刻机也曾拼装完成，并正在泽列诺格勒进行测试，该建造可确保坐褥350nm的芯片。然则那时Vasily Shpak并未显现更多对于该光刻机的细节。
莫斯科市长谢尔盖·索比亚宁近日的最新爆料骄气，莫斯科“泽列诺格勒纳米技艺中心”公司已完成了俄罗斯首台350nm光刻机的研发责任，并曝光了部分关系相片。
“寰球有才略制造这一微芯片关键坐褥建造的不到10个，如今，俄罗斯也置身其中。咱们已向过渡到自主坐褥微电子居品和国度技艺十足镇定上迈出了最着急的一步。”索比亚宁还指出，俄罗斯的这一建造与异邦肖似建造有着至极大的不同，俄罗斯的这一建造初次使用固体激光器来行为发射安设，而不是汞灯，固体激光器功率大、能效高、耐用性强、光谱更窄。
人所共知，光刻机对于半导体的坐褥极为着急，刻下寰球只好荷兰ASML、日本尼康和佳能、中国的上海微电子这四家公司省略坐褥光刻机，ag百家乐真的假的然则省略坐褥先进制程的光刻机只好ASML、尼康和佳能省略供应。天然350nm是一种至极熟悉的制程，然则依然不错称心部分汽车、动力和通讯行业的芯片需求。
莫斯科“泽列诺格勒纳米技艺中心”公司总司理阿纳托利·科瓦列夫暗意：“咱们公司已按照国度公约完成了俄罗斯首台350nm拓扑结构的投影式光刻机的研发责任。这一技俩是与白俄罗斯“Planar”工场配合试验完成的。在2024 年 12 月测试告捷后，这一光刻机就赢得了国度委员会的招供，并纪录了通盘申诉的技艺特征。面前已有客户购买了这一建造，面前这一建造的工艺经过正凭证最终用户对坐褥的独特条目进行逶迤。”
报说念称，该350nm光刻机的责任区域面积显贵增多，达到了 22mm × 22mm，可加工最大直径为200mm的晶圆。
据莫斯科市投资和工业政策局指出，“泽列诺格勒纳米技艺中心”公司已作念好了批量坐褥这款350nm光刻机的准备。此外，“泽列诺格勒纳米技艺中心”面前还正在按第二份国度公约连接开展 130 纳米光刻机的研发责任，瞻望于 2026 年完成。
凭证此前曝光的琢磨，2024年俄罗斯将拨款2,114亿卢布（约合东说念主民币166.16亿元）用于国内电子居品的开拓，其将包括不错坐褥350nm制程芯片的光刻机，2026年将完成用于坐褥130nm制程芯片的光刻机。
而俄罗斯决定开拓350nm到65nm光刻机的原因，在于这一技艺范畴内的芯片多用于微适度器、电力电子、电信电路、汽车电子等方面上，这些利用圣洁占据了通盘这个词阛阓的60%。是以，这类光刻机在全寰宇阛阓的需求量很大，况且将在至少10年内有络续的需求。
Vasily Shpak此前还曾指出，一个浅陋的逻辑即是，要是莫得半导体主权，那就莫得技艺主权，这将导致国防安全和政当事者权方面就至极脆弱。而面前俄罗斯也曾掌抓了使用国际国光刻机制造65nm芯片的技艺，但因为异邦公司被退却向俄罗斯出口先进的光刻机，是以俄罗斯也需要积极开拓我方的光刻机。
针莫斯科政府部长兼投资和工业政策局局长阿纳托利·加尔布佐夫挑剔说念：“莫斯科是俄罗斯微电子发展的中心。如今莫斯科约占俄罗斯微电子企业总营收的40%。微电子学和光子学的发展在城市和买卖范畴的各个行业王人有着精深的利用远景，包括光通讯、传感技艺、无线电光子学等诸多场合。‘莫斯科科技城’经济特区的入驻企业面前正在试验一系列要紧技俩，每个技俩王人旨在坐褥具有政策意旨的居品。”
剪辑：芯智讯-浪客剑
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