ag百家乐苹果版下载 中国科学家发明193nm波长紧凑型激光器 或将绝对调动芯片制造和量子配置
新式固态激光器可产生 193 纳米光，用于精密芯片制造，甚而产生具有轨说念角动量的涡旋光束——这是初次不错调动量子本领和制造业的效果。深紫外 (DUV) 激光器辐射波长极短的高能光，在半导体制造、高分辨率光谱、精密材料加工和量子本领等鸿沟推崇着迫切作用。与传统的准分子或气体放电激光器比较，深紫外激光器具有更好的关系性和更低的功耗，因此不错构建更小、更高效的系统。
紧凑型深紫外固体激光器在 193 nm 波长下产生涡旋。图片开首：H. Xuan（中国科学院空天信息参谋院大湾分手院）
在最近发表在《Advanced Photonics Nexus》上的一项参谋中，中国科学院的参谋东说念主员告示了一项首要蹂躏：一种紧凑型固态激光系统，不错产生波长为 193 纳米的关系光。这种特定波长是光刻本领的要津器具，光刻本领用于在硅晶片上蚀刻追究图案，而硅晶片关于制造当代电子配置至关迫切。
新的激光系统以 6 kHz 的重叠率启动，并使用定制的 Yb:YAG 晶体放大器产生 1030 nm 的基本激光。该激光分为两条旅途：一条通过四次谐波生成诊治为 258 nm 光束，ag百家乐九游会输出功率为 1.2 瓦；另一条为光学参量放大器供电，产生 1553 nm 光束，功率为 700 毫瓦。然后使用级联三硼酸锂 (LBO) 晶体将这两束光束组合在全部，产糊口划 193 nm 光，平均输出功率为 70 毫瓦，线宽低于 880 MHz。
参谋东说念主员还在混频前将螺旋相位板引入 1553 纳米光束，从而产生佩戴轨说念角动量的涡旋光束。这是初次从固态激光器产生 193 纳米涡旋光束。这种光束有望成为混杂 ArF 准分子激光器的种子，并可能在晶圆加工、劣势检测、量子通讯和光学微操作方面有首要期骗。
这种更动的激光系统不仅擢升了半导体光刻的遵守和精度，还为先进制造本领开发了新道路。产生 193 纳米涡旋光束的才气可能导致该鸿沟的进一步蹂躏，有可能绝对调动电子配置的分娩面容。
编译自/ScitechDaily