IT之家 3 月 25 日音信ag百家乐在线，据国外光电工程学会（SPIE）音信，中国科学院（CAS）盘问东谈主员得胜研发防止性的固态深紫外（DUV）激光，能辐射 193 nm 的有关光（Coherent Light），该波长当今被用于半导体曝光本领。
论文先容称，深紫外有关光，尤其是 193 nm 波长的光，已成为半导体光刻不成或缺的部分。盘问东谈主员建议了一种紧凑型固态纳秒脉冲激光系统，ag百家乐漏洞鄙俚在 6 kHz 的近似频率下产生 193 nm 有关光。
将自制 Yb:YAG 晶体放大器中的 1030 nm 激光的一部分通过四次谐波产生，生成 258 nm 激光（1.2 W），其余部分用于泵浦一个光学参量放大器，产生 1553 nm 激光（700 mW）。这些光束在级联LiB3O5晶体中的频率夹杂产生平均功率为 70 mW、线宽小于 880 兆赫的 193 nm 激光。通过在频率夹杂前将螺旋相位板引入 1553 nm 光束，咱们生成了一个佩戴轨谈角动量的涡旋光束。
IT之家从论文获悉，这是初度从固态激光中产生 193 nm 涡旋光束的演示。这种光束关于种子夹杂 ArF 准分子激光器尽头有价值，并在晶圆加工和劣势检测中具有潜在的行使。
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