发布日期：2024-04-05 15:22 点击次数：173
金融界2025年1月27日音问，国度常识产权局信息表示AG真人百家乐官方，一塔半导体（安徽）有限公司苦求一项名为“一种外延开荒的反馈器及外延开荒”的专利，公开号CN119352149A，苦求日历为2024年10月。
专利摘抄表示，本发明公开了一种外延开荒的反馈器及外延开荒，包括反馈腔，所述反馈腔由所述反馈器的腔盖、侧壁、底座界定，所述反馈腔内设有基座，所述基座上设有载片盘，加热安装；所述腔盖包括中央进气组件、冷却组件、以及围绕所述中央进气组件成就的支配进气组件，中央进气组件用于向所述反馈腔中吹出反馈气体，所述支配进气组件用于向所述反馈腔中吹出载气，AG百家乐技巧打法所述冷却组件包括冷却通说念，所述冷却通说念至少部分成就在所述中央进气组件、所述支配进气组件的角落；当所述反馈腔内进行薄膜生永劫，所述支配进气组件吹出的载气可与所述反馈气体相碰撞以改造所述待加工件上的薄膜滋长速率。本发明不错擢升薄膜滋长的膜厚均匀性还能有用对腔盖进行降温。
天眼查辛勤表示，一塔半导体（安徽）有限公司，建造于2024年，位于合肥市，是一家以从事规画机、通讯和其他电子开荒制造业为主的企业。企业注册成本613.33万东说念主民币。通过天眼查大数据分析，一塔半导体（安徽）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标花式1次，常识产权方面有商标信息11条，专利信息6条，此外企业还领有行政许可2个。
本文源自：金融界AG真人百家乐官方
