据闪德资讯获悉，国外光电工程学会（SPIE）报说念，中国科学院（CAS）商榷东说念主员告捷研发打破性的固态深紫外（DUV）激光器ag百家乐正规的网站，能辐照193纳米的联系光（Coherent Light），该波长现在被用于半导体曝光工夫。

而这项工夫已在中国施行室中完满。

如若光源工夫粗略扩张，此安装就不错用来制造曝光缔造。

以传统工夫来看，ASML、Canon和Nikon的DUV光刻机运用氟化氩（ArF）准分子激光器产生193纳米光源。

这种激光器内包含氩气与氟的搀杂物，以及氖气行为缓冲气体。

当施加高压电脉冲时，氩原子与氟原子被引发，片晌酿成不踏实分子ArF（或准分子），此分子赶紧复返基态，开释出波长为193纳米的光子。

由于激光器以短而高能量的脉冲神志辐照这些光子，输出功率高达100W-120W、频率在8~9 kHz。

然后这束193纳米光束透过光学系统进行整形、辅导与踏实后，当后光干预光刻扫描器时，会透过光罩（photomask）将芯片电路图案曝光至晶圆上。

中国科学院开荒的测试安装选拔全固态轮番产生193纳米的光，ag百家乐开奖彻底幸免使用气体的准分子激光。

它先使用公正的Yb：YAG晶体放大器，产生1030纳米的激光束，随后该光束被分红两条光路，每条光路王人经由不同的光学制程，以产生193纳米所需的元件。

在第一条旅途中，1030纳米光束透过四次谐波产生（FHG，Fourth-Harmonic Generation）诊治成258纳米的光束。

“四次谐波产生”是种非线性光学制程，可将激光束诊治成原始波长的四分之一。

在第二条旅途中，1030纳米光束的另一半被用于泵浦光学参数放大器，产生功率为700mW的1553纳米光束。

这两个光束之后在串联的三硼酸锂（LBO）晶体中聚拢，产生波长为193纳米的联系光，平均功率为70mW，责任频率为6kHz。

中国科学院示意ag百家乐正规的网站，测试系统的线宽窄于880MHz，其光谱纯度性能可比好意思现在使用的商用系统。

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