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凯时AG百家乐 巨室数控请求用于基板制造的舱体、开导、系统和制造纪律专利, 省俭基板曝光制程坐褥成本
发布日期：2024-05-29 10:28 点击次数：182
金融界2025年1月18日音信，国度学问产权局信息露馅，深圳市巨室数控科技股份有限公司请求一项名为“用于基板制造的舱体、开导、系统和制造纪律”的专利，公开号CN119310807A，请求日历为2024年10月。
专利节录露馅，本发明公开了一种用于基板制造的舱体、开导、系统和制造纪律，包括：具有密封结构的外壳，所述外壳形成里样貌纳空间；设于所述里样貌纳空间的曝光制程机组，用于对基板进行曝光惩办；其中，所述里样貌纳空间为所述曝光制程机组提供所述曝光惩办所需的制程环境。通过使用本公开的技艺决策，不错免于对建设曝光开导的所有车间进行无尘、恒温、恒湿等制程环境抵制，从而省俭车间的建酿成本和顾惜成本，沙巴贝投ag百家乐缩小基板曝光制程的坐褥成本。
天眼查费力露馅，深圳市巨室数控科技股份有限公司，确立于2002年，位于深圳市，是一家以从事绸缪机、通讯和其他电子开导制造业为主的企业。企业注册成本42000万东谈主民币，实缴成本10000万东谈主民币。通过天眼查大数据分析，深圳市巨室数控科技股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标款式102次，学问产权方面有商标信息50条，专利信息1174条，此外企业还领有行政许可24个。
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