凯时AG百家乐俄罗斯首台350nm光刻机，行将量产

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泉源：实质来自tomshardware，谢谢。

泽列诺格勒纳米时间中心 (ZNTC) 和 Planar已完成俄罗斯首台相沿 350nm 级工艺时间（0.35 微米）的光刻系统的开采。白俄罗斯 Planar 公司协助完成了这一开采。该机器已通过官方检查，正在泽列诺格勒进行集成老练。尽管具有符号真谛，但该系统的瞎想已历程时了几十年，ZNTC 能否批量分娩尚不明晰。

新器用

ZNTC 光刻建造于一年前厚爱推出，是一款基于固态激光器的 200 毫米光刻机，曝光场大小为 22 毫米 × 22 毫米（484 平日毫米）。ZNTC 和 Planar 并未涌现接洽该建造的要道时间细节，包括其使用的激光器波长或激光器可辐照的功率。不外，该公司清楚，其使用节能的“固态”激光器，具有“更窄”的辐照范围和更长的使用寿命。

固态光源的使用似乎是一个发愤的细节，它不仅将该器用与跳跃的晶圆厂器用制造商瞎想的器用分手开来，何况还不错清楚该公司改日的筹划。

琢磨到 ZNTC 发布的声明相配朦拢（也许是为了守密其说明过甚配结伴伴的说明），研究 ASML 所谓的最驰名的分娩器用以了解 ZNTC 的成等于荒谬想的。

ASML 的光刻器用专为 200 毫米晶圆瞎想，用于从 350nm 到 130nm 的工艺时间，传统上采纳两种主要紫外线 (UV) 照明源中的一种，具体取决于着实的光刻模子和工艺节点条目：汞弧灯、KrF（氟化氪）或 ArF（氟化氩）激光。

关于350nm及以下的工艺时间，ASML的i-line步进机使用波长为365nm的汞弧灯（405nm和436nm较罕有）。关于250nm及更先进的节点，ASML使用波长为248nm的KrF（氟化氪）激光器。从130nm节点运行，ASML的深紫外光刻系统已使用波长为193nm的ArF（氟化氩）激光器。

固态光源？

眷注的读者会问：“半导体分娩中的固态激光器是什么？”固态激光器泛泛独揽于半导体制造，但并非用于先进节点的主要光刻曝光。相悖，它们用于接济作用，举例晶圆检查、流毒分析、标志和微加工工艺，包括晶圆切割或修整组件。

在老到节点（举例≥250nm）下，也不错使用责任波长为 365nm 驾驭的固态激光器（三倍频 Nd:YAG 激光器）进行光刻，因为它们踏实、高效且可靠。然而，ag百家乐官网如上所述，自 1990 年代末以来，ASML 一直使用基于气体的准分子激光器（248nm 的 KrF、193nm 的 ArF）或汞灯（365nm i-line）。

兴趣兴趣的是，ZNTC 清楚正在研发一种大略罢了 130nm 级工艺时间的光刻系统，但瞻望其开采将在 2026 年的某个时期完成。

为时已晚？

天然有些建造采纳了 350nm 级工艺时间，但以今天的模范来看，这种工艺时间已历程时了。20 世纪 90 年代中期，英特尔将这一节点用于其 Pentium MMX、Pentium Pro 和早期 Pentium II CPU，而 AMD 在 1997 年驾驭使用调换时间分娩了其 K6 处理器。如今，先进的芯片采纳 5nm 级或更先进的工艺时间制造。

即使是俄罗斯芯片制造商，如 Angstrem 和 Mikron，也不分娩 350 nm 芯片。这两家公司的分辨率齐在 250 nm 到 90 nm 之间。因此，新扫描仪与俄罗斯主要代工场现存的分娩节点不匹配，将其告成营业干系性松手在国内分娩商的非要道层，这些分娩商将持续使用ASML 的 PAS 5500 系列光刻器用，这些器用是私运到俄罗斯的。

不外，ZNTC 的器用在某些特定界限可能用途有限。一些汽车和电源贬责 IC 采纳老到工艺分娩。军事独揽也不错从这种器用中受益，因为它们并不老是需要顶端性能。

不外，新机器的主要想法似乎是动作开采更纷乱版块的基础。ZNTC 现在正在开采一种针对 130nm 级工艺时间的新式号。瞻望 2026 年完成。该版块是俄罗斯政府制定的长久道路图的一部分，该道路图的缱绻是到 2025 年底罢了 90nm 的国内分娩，到 2027 年罢了 28nm 的国内分娩，到 2030 年罢了 14nm 的国内分娩。ZNTC 过甚俄罗斯同业远远逾期于该筹划。

https://www.tomshardware.com/tech-industry/russia-completes-development-of-30-year-old-outdated-lithography-tool

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